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电子气

简要描述：电子气：按组分的性质分类，大致分为三类，即单质类气体（O2、N2、Ar、H2、He）、化合物类气体（SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氢、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氢、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等）、混合物类气体（SiH4+稀释气（Ar、N2）、PH3+稀释气（Ar、N2）、NH3+稀释气（Ar...

更新时间：2023-02-22 11:27:51
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电子气：
按组分的性质分类，大致分为三类，即单质类气体（O₂、N₂、Ar、H₂、He）、化合物类气体（SiH₄硅烷、PH₃磷烷、AsH₃砷化氢、CO一氧化碳、B₂H₆乙硼烷、Hcl氯化氢、NH₃氨、CF₄四氟甲烷、SiF₄四氟硅烷等）、混合物类气体（SiH₄+稀释气（Ar、N₂）、PH₃+稀释气（Ar、N₂）、NH₃+稀释气（Ar、N₂）等）。